用球面共焦fabry-perot干涉仪测量微振动

介绍一种光学非接触测量超微振动的方法,利用球面共焦fabry-perot干涉仪设计了微振动测量系统.与传统的测量方法相比,该系统具有非接触、高灵敏度、高频响、高空间分辨率等特点,便于实现连续、快速、自动化检测;根据实验要求,设计了腔长0.5m、带宽5.9mhz的fabry-perot干涉仪,并组成测量系统;通过实验,检测出5mhz脉冲压电换能器产生的微振动波形;为了克服环境噪声对测量系统的影响,采用自动稳腔长的方法,使系统具有良好的稳定性.