？基于光学自由曲面的三维位移测量系统

？针对数控机床、多轴位移台等多轴系统位移检测中存在的检测方法复杂、测量费用高等问题，利用光学自由曲面具有极大的设计自由度，可简化系统结构、提高系统性能的特点，设计开发了一种基于光学自由曲面的非接触式三维位移测量系统，用于普通机床、多轴位移台等多轴系统位移精度检测．通过设计光学自由曲面基准件，搭建实验平台，建立测量系统的数学模型，完成了测量系统的标定实验、测量系统精度验证实验和三维位移测量实验．结果表明，该测量系统精度达2.8,?m，可用于多轴系统的位移检测．