非接触光学测头在金属强反射表面测量中的应用

强反射表面的高精度金属件和光学件的表面轮廓测量,是形貌检测领域的一个难点.文中提出了一种用于逆向工程领域的自由曲面非接触测量系统,其由三坐标测量机和主动式双目视觉形貌测头组成.通过摄像机标定了视觉测头,利用光学偏振技术消除了金属表面强反射光对测量的干扰.对扫描路径进行了规划,并根据金属表面加工纹理方向,选择采样策略.通过对量块表面的测量,验证了使用非接触方法测量金属强反射表面的可行性.研制测头的精度达到了0.05mm.