？精密psd微位移在线测量系统

？为了满足工业现场微位移测量的精密性实时性和可靠性要求，设计并制作了位置敏感器件(psd)激光微位移测量系统．??系统将调制带通滤波峰值检测等信号处理技术运用于激光三角法中，并利用psd信号单通道处理方式，提高了系统的抗干扰能力．同时，系统采用自适应控制方法改变激光的调制频率，从而调整电信号的增益系数以适应各种测量对象．实验表明，在没有滤光片的情况下，系统有效地消除了背景光和暗电流的影响，测量频率最高可达2,khz，分辨率达到0.035%，稳定性误差小于0.090%，线性度好于1.2%，大大降低了温漂的影响．