提高激光干涉测量系统精度的方法与途径

激光干涉系统的测量精度会受到系统本身机械结构及光学元件布局的影响,因此采用了耦合差动干涉的方法,使影响测量精度的各种因素尽量由干涉系统自身予以消除,提高了干涉仪的分辨率和稳定性．利用以heyde-mann修正模型为基础的误差补偿方法,对干涉信号中存在的非正交误差、不等幅误差及直流电平漂移误差进行了修正．根据多点拟合的原理,提出了减小运算量的新算法．设计了以c8051f005单片机为核心的电路补偿模块,实现了以上3种误差的实时补偿．实验结果表明：通过采取以上措施,该干涉测量系统在10mm的测量范围内取得了10～12nm的测量精度．