镜头埋入深度的组合测量方法

根据精密摄像系统中摄像头实际安装工况,为了避免传统的点接触测量法的缺点,提出了多电容传感器组合的非接触式镜头埋入深度测量法．采用电容传感器测量,可实现非接触测量,仪器体积小巧,精度高达0．1μm．此外,利用多个传感器对环境敏感而漂移的同向性,抑制了单一传感器数据的漂移,提高了测量的稳定性,克服了单一传感器无法进行形位误差测量的缺陷．标定和现场实验证明了该方法的可行性,系统测量精度达到2μm．