一种微加工超声传感器的设计

电容式微加工超声传感器(cmut)是近年来出现的新型器件,具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点,大有取代传统的压电式超声传感器之势.介绍了cmut的基本结构和工作原理,提出了一种新型传感器结构.针对此结构建立了两个有限元模型,通过对其中的一个三维模型进行模态分析得知,cmut可工作在一阶频率处,其振动频率为4？582mhz;利用另一个三维模型进行静态和谐波分析,得出传感器的塌陷电压为213v,当对cmut施加45v直流偏置电压和1？6v交流电压时,其谐振频率为4？147mhz,薄膜的最大位移为0？447μm.