？超精密磨削辅助工作台及结构静动态特性研究

？研制了一种基于高刚度pzt作动器的超精密定位工作台，其特点是采用弹性铰链预紧和提供工作台侧向刚度，结构简单，动态响应速度快，分辨率高。为防止pzt作动器受到过大弯力作用和动平台弯曲变形，在动平台与pzt作动器间加入弹性缓冲环节和辅助弹性隔离板。另外，对工作台输入输出特性、静动态刚度和模态振型、以及受外力作用时产生的静态位移误差进行了试验研究。试验数据表明，该工作台可作为精密磨床的辅助工作台，极大地提高机床的定位精度。