spm电场加工纳米结构的评价方法

纳米结构形状特征及其相关参数的评价是扫描探针显微镜(spm)加工面临的一个主要问题.文中对原子力显微镜(afm)电场诱导硅氧化结构的部分形状特征进行了分析和讨论.借助传统评价方法,结合纳米加工实际,提出了几个评价参数,并用于spm加工方法的评价中,其中加工线宽是一个关键参数.与加工线宽相关的参数还包括直线度、线平行度、垂直度、倾斜度、加工高度及纵横比等.通过对afm加工生成的线结构进行评价,说明了该方法的可行性.