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天津大学学报(自然科学与工程技术版) 2013
？差分激光三角法油膜厚度测量传感器的测量范围与精度分析DOI: 10.11784/tdxb20131108, PP. 998-1002 Keywords: 激光三角法,垂直入射,油膜厚度,测量范围,精度 Abstract: 针对所研制的海面溢油油膜厚度测量传感器的测量范围和精度进行了研究．在分析基于垂直入射差分激光三角法油膜厚度测量原理的基础上，分别采用厚度0.1,mm的塞尺和10,mm的陶瓷量块对传感器的测量上下限进行了验证，并采用厚度为1～10,mm的0级陶瓷量块对传感器进行了精度测量和分析．结果表明，所研制的油膜厚度测量传感器的范围为0.1～10,mm，测量相对误差小于1%．
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