氦质谱检漏法应用研究

对氦质谱检漏法的检漏精度、分辨率、检漏范围以及检测结果的重复性进行了系统研究,阐述了影响检漏精度的可能因素。在真空密封试验台上对石棉橡胶垫片等密封元件的检漏结果表明,该检漏方法的检测精度高、重复性好,特别适用于微小泄漏率的精确检测,是压力容器和密封元件的理想检漏方法。