锆钛酸铅陶瓷材料及压电振子的研究

本文讨论了锆钛酸铅(pzt)材料用作高频陶瓷滤波器压电振子的技术要求,论述了配方选择依据,着重讨论了某些氧化物:mno2,ceo2及sro等对性能的影响,确定了陶瓷体制备的适宜条件,研究了高频压电陶瓷滤波器振子制作工艺及影响振子特性的因素.实验结果表明,采用全电极极化,真空蒸发cr-ag点电极,选择点电极面积约为厚度值3～5倍时易获得具有较好频率特性的振子。点电极面积愈大,两侧点电极对称性愈好将有利于获得电压比高,输出功率大的振子.通过基波及谐波频率特性的比较,观察到一次谐波反谐振频率与基波反谐振频率的比值小于3,而它们的正谐振频率的比值大于3。这对利用谐波制作高频压电陶瓷滤波器具有特别重要的意义,因为上述结果为合理挑选振子,抑制基波,制作性能良好的高频谐波压电陶瓷滤波器提供了选择依据。