si_3n_4-al_2o_3-zro_2系陶瓷表面氧化层组成的epma分析

利用epma和xrd的分析方法，研究了si＿3n＿4－al＿2o＿3－zro＿2系陶瓷材料表面氧化层组成。结果表明，si＿3n＿4－al＿2o＿3－zro＿2系陶瓷材料表面氧化层是由方石英相、zrsio＿4相和含有al＿2o＿3、cao等的sio＿2玻璃相所组成，其中sio＿2玻璃相中al＿2o＿3、cao等的含量，随着氧化时间的增加而逐渐增加。