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ISSN: 2333-9721
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薄膜线膨胀系数的一种精确测量方法

DOI: 10.3969/j.issn.1671-7627.2007.02.012, PP. 58-61

Keywords: 热膨胀系数,热机械分析,修正参数,薄膜

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Abstract:

热膨胀系数(α)是衡量材料性能优劣的一个重要参数,但目前对薄膜试样热膨胀系数测量方法的文献报道较少.具体介绍一种采用热机械分析仪测量薄膜试样热膨胀系数的方法.在此基础上分析引起测量误差的原因,并通过参比铜箔对仪器进行了校正,获得仪器的修正参数.结果表明,通过校正消减了仪器自身热膨胀,能精确求出薄膜的热膨胀系数.

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