pd/tial合金复合膜表面缺陷的影响因素？
, PP. 1-4
Keywords: pd膜,tia1合金,相互扩散,小孔缺陷
Abstract:
？金属基pd复合膜在高温下易产生小孔缺陷，目前对造成膜表面小孔缺陷的主要原因尚不清楚。借助环境扫描电镜（sem）考察了气氛环境、高温烧结以及金属间相互扩散等因素对pd/tial合金复合膜表面性能的影响。结果发现：气氛环境、高温烧结和金属间相互扩散都会对pd复合膜的性能产生一定的影响，但是高温下pd与tial合金间相互扩散是pd/tial合金复合膜表面小孔缺陷形成的最主要影响因素。中
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