bst/si-npa复合薄膜的湿敏电容特性研究

本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺，以si-npa为衬底，制备了钛酸锶钡(bst)/si-npa复合薄膜，并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明，环境的相对湿度(rh)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100hz的测试信号频率下，当环境的相对湿度从11%上升到95%时，bst/si-npa湿敏元件的电容增量可达起始值的4400%，显示出较高的湿度敏感性。同时，元件的响应时间和恢复时间均约为42s，表现出较快的时间响应和均衡的吸附/脱附。最后，通过复阻抗法讨论了元件的感湿机理。