ag作催化剂制备的gan的形貌及其性能

用化学气相沉积法(cvd)在si(100)衬底上以ag纳米颗粒为催化剂制备了微纳米结构的gan，原料是熔融态的金属ga和气态的nh3。采用x射线衍射仪(xrd)、透射电镜(tem)、x-ray能谱仪(eds)、场发射扫描电子显微镜(sem)、光致发光能谱(pl)和霍尔效应测试对样品进行了结构、成分、形貌和发光、电学性能分析。结果表明：生成的自组装gan为六方纤锌矿的类似小梯子的微纳米单晶结构，且在不同的温度下，gan的发光性能和电学性能也有所不同，相对于强的紫外发光峰，其它杂质发光峰很微弱，且均呈p型导电。对本实验所得到的gan微纳米结构的可能形成机理进行了探讨。