脉冲电弧放电电离甲醇溶液制备碳膜的研究

利用脉冲电弧放电电离甲醇溶液在常压下研究了含金刚石成分的碳膜的制备.用扫描电子显微镜(sem)、傅里叶红外光谱(ft-ir)、激光raman光谱和x射线衍射(xrd)研究了在确定的基片温度下甲醇浓度以及放电电压等沉积条件对薄膜的形貌和金刚石的合成的影响.研究结果表明:在放电电压低于2kv时,薄膜主要由无序石墨和无定形碳组成.提高放电电压有助于金刚石的合成,在高的放电电压下,降低甲醇溶液浓度有利于提高碳膜中金刚石成分的含量.