不同厚度三倍频sio2增透膜的设计、制备与改性

本文通过光学计算设计了具有不同厚度的三倍频增透膜。以氨水为催化剂、正硅酸乙酯(teos)为前驱体，通过溶胶-凝胶(sol-gel)技术制得sio2溶胶；采用浸渍提拉法镀膜得到符合设计要求的三倍频增透膜。研究结果表明，增透膜的耐磨擦性能随着膜层厚度的增大而增大，本文制得的厚度达到200nm以上的三倍频增透膜耐磨擦性能显著优于传统的1/4波长三倍频增透膜。此外，本文以甲基含氢硅油为膜表面修饰剂，提出一种全新的超快的表面疏水性改性的方法。经该方法处理后，增透膜由亲水膜转变为疏水膜，对水的接触角从23.4°增大至95°，增透膜的耐环境性显著提高。