催化增强化学蒸气沉积法在聚酰亚胺上沉积钯-铂合金薄层(英文)

以n2，o2作载气，通过催化增强化学蒸气沉积(cecvd)分别制得在聚酰亚胺上的金属铂、钯及其合金薄层。铂、钯配合物的共同沉积可生成pt-pd合金薄膜。在pd-pt合金的沉积过程中，pd/pt的原子数比率随共同沉积的条件改变而变化。o2为载气、300℃条件下,用pd(η3-allyl)(hfac)和pt(cod)me2作前驱体共沉积制备pd-pt合金，得到含pd37.2%，pt62.8%且不