含氧酸盐热反应法制备y-ba-cu-o系超导膜的x射线光电子能谱(xps)研究

用x射线光电子能谱(xps)法研究了在基体zro2上以含氧酸盐热反应法制得的yba2cu3o6·5+δ超导膜的表面状态、组成及各成分元素的结合能,特别是ar+刻蚀前后膜表面组成和状态的变化,并与另一条件下制得的y2bacuo5非超导膜作了比较。探讨了ar-刻蚀前后,超导膜表面状态和组成变化的原因。确定了yba2cu3o6·5+δ超导膜中各成分元素的结合能:y3d5/2=156.3ev;ba3d5/2=778.5ev;cu2p3/2=933.5ev和os=528·3ev,529.4ev。结果还表明:超导膜表面容易受h2o和co2的侵蚀,生成baco2。