silar法制备化学计量cuins2薄膜

在室温下，以不同ccu/cin的cucl2和incl3混合溶液作为阳离子前驱体，na2s水溶液为硫源，利用连续离子层吸附反应法(silar)在玻璃基底上制备了cuins2薄膜。xrd结果表明，当ccu2+/cin3+在1～1.5范围内均可形成具有黄铜矿结构的cuins2薄膜。sem观察到随ccu2+/cin3+的升高，薄膜表面颗粒长大并出现团簇聚集。通过xps测定薄膜表面的化学组成证明当ccu2+/cin3+=1.25时，cuins2薄膜接近其标准的化学计量组成。此时薄膜的吸收系数大于>104cm-1，禁带宽度eg为1.45ev。