pechini方法制备铌酸锂薄膜的研究

采用pechini方法，以柠檬酸为配位剂与金属离子配位，在pt/ti/sio2/si基片上制备了多晶铌酸锂(linbo3)薄膜。以13c核磁共振、拉曼光谱和红外光谱分析研究了柠檬酸与金属离子的配位情况，提出了一种nb-柠檬酸配合物可能的分子结构，即柠檬酸作为三齿配体，以端羧基、-oh和中间羧基与nb离子配位。以tg-dta对li-nb凝胶前驱体的热分解历程进行分析，以拉曼光谱和xrd分析了linbo3薄膜在不同温度下热处理的相组成和结构。结果表明，600℃下退火2h可得到单相多晶linbo3薄膜，薄膜表面致密、平整，晶粒的平均尺寸为50nm。