piranha改性玻璃基板液相沉积制备srtio3功能陶瓷薄膜(英文)

以piranha溶液处理玻璃基板，采用液相沉积技术，制备了钛酸锶晶态薄膜。改性基板的亲水性测定与偏光显微镜测试表明，piranha溶液能够有效改善玻璃基板的亲水性，并且基板表面的硅烷醇对钛酸锶薄膜的沉积具有积极指导作用；x射线衍射(xrd)与扫描电镜(sem)表征显示，制备成功的钛酸锶薄膜纯度高，结晶良好，样品表面均匀，在垂直基板表面方向上呈纤维花簇状生长。文章同时对基板表面硅烷醇形成过程进行了研究。