柠檬酸浓度对化学浴沉积硫化铟薄膜形成机理的影响研究

以柠檬酸为配位剂，在酸性条件下采用化学浴沉积方法在fto玻璃衬底上制得硫化铟薄膜，分别采用xrd、sem、uv等手段对薄膜相结构、形貌和薄膜的透光率进行了表征。结果表明薄膜为立方结构的β-in2s3，薄膜均一连续，呈网状表面形貌，透光率随厚度增加而递减，带隙宽度介于2.5~2.6ev之间。主要研究了配位剂的浓度对薄膜形成机理的影响，结果表明：柠檬酸浓度较低时，柠檬酸根与铟离子的配位平衡是整个反应的速控步骤；当柠檬酸浓度较高时，硫代乙酰胺与酸作用生成硫离子的反应是整个反应的速控步骤。