钛酸钡薄膜生长初期粒子形态及其反应机理的模拟研究

在激光分子束外延生长钛酸钡(batio3，bto)薄膜过程中，初期多粒子碰撞反应过程是薄膜形成的关键过程。本文采用密度泛函理论中的广义梯度近似(dft/gga)，在pw91/dnp水平上研究了ba、ti、o、o2、bao、tio2以及bto分子在真空中的优先反应形成与演化过程，计算研究了它们碰撞反应及其中间体的形成机理，获得了相应中间体的几何结构、过渡态及反应活化能，并运用前线轨道理论分析了bto分子形成机理。对比bto、srtio