znsno3透明导电薄膜：溶胶-凝胶法制备及性能

采用溶胶-凝胶(sol-gel)过程和旋涂法制备了zn-sn-o系统薄膜。通过对干凝胶的热重-差示扫描同步热分析(tg-dsc)，研究了干凝胶在烧结过程中的反应历程。采用x射线衍射(xrd)、x射线光电子能谱(xps)、场发射扫描电镜(fe-sem)以及紫外-可见透过率(uv-vis)等表征了烧结后薄膜的晶相、晶格缺陷、微观形貌以及紫外-可见光透过率。本文还研究了烧结温度、n2气氛热处理以及组成变化对薄膜电阻率的影响，结果表明：偏锡酸锌znsno3晶体薄膜具有较低的电阻率；当nzn/(nzn+nsn)=50.3at%时，薄膜的电阻率达极小值，约为8.0×102ω·cm。偏锡酸锌znsno3晶体的导电机理研究表明：晶格中间隙阳离子含量的增加有利于薄膜电阻率的降低，而氧空位的形成则使其电阻率升高。薄膜的紫外-可见光透过率(uv-vis)表明：偏锡酸锌znsno3晶体薄膜在400~900nm的可见光波段透过率可达80%以上。