随机工艺变化下互连线abcd参数建模与仿真

集成电路的不断发展使得互连线的随机工艺变化问题已经成为影响集成电路设计与制造的重要因素。基于电报方程建立了工艺变化下互连线的分布参数随机模型，推导出互连线abcd参数满足的随机微分方程组，并提出了基于蒙特卡洛法的互连线abcd参数统计分析方法，通过对abcd参数各参量系数的正态性进行偏度-峰度检验，给出了最差情况估计。实验结果表明所提出的互连线随机模型及统计分析方法可以对工艺变化下的互连线传输性能进行有效的评估。