高k介质纳米mosfet栅电流和电容模型

介绍了一种纳米mosfet（场效应管）栅电流和电容的统一模型，该模型基于schr？dingerpoisson方程自洽全量子数值解，特别适用于高k栅介质和多层高k栅介质纳米mosfet。运用该方法计算了各种结构和材料高k介质的mosfet栅极电流,并进行了分析比较。模拟得出栅极电流和电容与实验结果符合。