基于微流控技术新型光开关器件设计

首先介绍了较为常用的几种光开关的工作原理、特点和应用。描述了mems、moems、微流控技术。以moems及微流控技术相接合，提出一种新的微流控光开关阵列结构，通过电控方法改变微流控芯片波导结构，实现光路变化。该光开关具有体积小，结构简单，功率损耗低，有利于光开关阵列集成化、微型化及制作。以电控方式控制光开关，在开关速度上比温控更快、更稳定，且控制电路简单等特点易构成大容量交换矩阵。