金刚石晶形显露的化学控制

采用热丝化学气相沉积法（hfcvd），研究了n2、o2对金刚石晶形显露的影响.发现微量的氮气的加入（[n2]／[ch4]＜1％）有利于金刚石（100）晶面的显露，且不会降低金刚石晶形的完整性；微量氧的加入有利于金刚石（111）面显露．采用氧辅助控制金刚石膜（111）织构生长，可以使x射线（111）峰摇摆曲线的半宽降到6.2°．氮或氧的加入扩大了织构生长金刚石（100）或（111）膜的基片温度范围．