角分辨飞行时间法研究紫外激光烧蚀ta2o5的反应

利用角分辨的飞行时间法研究了355nm脉冲激光烧蚀ta2o5的反应.由四极质谱测得的烧蚀产物除了o,ta，tao和tao2中性碎片外，在较高激光能量密度时还有o+，ta+，tao+，tao2+离子碎片.它们的飞行时间（tof）谱可以用多组分带质心速度的maxwell-bolztmann分布函数较好地拟合，原生离子碎片的平均动能与激光能量密度无关.烧蚀产物中原生离子和中性粒子的角分布可以分别用αcosnθ（n≈26）和αcosθ＋bcosnθ（n≈27）函数拟合.此外，对紫外脉冲激光烧触ta2o5的机理进行了讨论.