氮掺杂二氧化钛-氧化镍双层薄膜的光电致色特性

以金属钛为靶材、o2/n2/ar混合气氛为溅射气体,在导电玻璃(ito)表面磁控溅射一层薄膜,再经300-500℃退火处理制备了氮掺杂tio2薄膜.采用x射线衍射(xrd)、x光电子能谱(xps)、扫描电子显微镜(sem)和紫外-可见吸收光谱等对薄膜的微观结构、光学特性和光电化学性能等进行了研究.进而采用化学沉积的方法在tio2-xnx薄膜表面沉积上一层多孔nio薄膜,研究表明,制备的ito/tio2-xnx/nio双层薄膜具有明显的光电致色特性,400℃退火处理的氮掺杂tio2薄膜具有最高的光电流响应,经氙灯照射1h后,薄膜从无色变成棕色,500nm波长处光透过率从79.0%下降至12.6%.