射频溅射制备的多晶zno膜表面氧的吸附和脱附

多晶的六角密排的c轴平行于衬底的zno膜已用射频溅射的方法制备出来，一电场感应的氧吸附在这些膜上被观察到．由紫外光照射或与ar离子反应所产生的氧的脱附可使膜的电导率增加6－7个数量级，并且一个积累层在膜的表面显现出来．