大气压射频等离子体化学气相沉积tio2体系的发射光谱诊断

开展了大气压射频(rf)等离子体化学气相沉积(pcvd)tio2放电体系的发射光谱诊断研究,分别考察了氧气分压、钛酸四异丙酯(ttip)分压和输入功率对氧原子谱线相对强度、氩原子激发温度、oh振动温度以及转动温度的影响.结果表明:随着氧气分压的增加,氧原子谱线相对强度先迅速增加至峰值后缓慢下降,oh振动温度缓慢增加,而氩原子激发温度和oh转动温度基本不变.随着ttip分压的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度没有明显变化,而oh振动温度和转动温度增加.随着输入功率的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度、oh振动温度和转动温度升高.