强流脉冲离子束辐照对电弧离子镀tinbn硬质薄膜摩擦磨损性能的影响

？利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备tinbn多元硬质薄膜，利用temp-6型强流脉冲离子束（hipib）设备，采用含c/h离子、加速电压300kv、脉冲宽度70ns、束流密度60a/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理，研究辐照前后膜层的摩擦磨损性能的变化。实验结果表明：hipib辐照以后，薄膜的表面熔化，摩擦系数降低，晶粒细化，膜层的硬度由hk3444提高到hk3820,膜基结合力由59n提高到65n。在测试载荷300n和600n条件下，薄膜的摩擦磨损性能均有较大改善。