改性剂对旋转法sio₂减反膜均匀性的影响

？分析了采用旋转涂膜法制备溶胶-凝胶sio2减反膜过程中条纹缺陷产生的机理，利用含氟醇类试剂对减反膜溶胶进行改性，使溶胶链段柔顺性及流动性得到改善。在光学显微镜下对改性前后的膜层进行了对比和分析，对膜层的表面形貌、表面粗糙度以及透射比等特性进行了表征。结果表明:溶胶改性之后的膜层未出现条纹缺陷，表面粗糙度均方根值从4.55nm下降到小于1.00nm，膜层表面质量有了较大提高；改性前后膜层的增透性能相当,在熔石英基片上制备的膜层峰值透射比为99.60%~99.89%，膜层激光损伤阈值为21.0~25.3j/cm2。