软x射线kba显微镜分辨力及其影响因素

？为了对kba显微镜的分辨能力进行准确计算，对kba显微镜的分辨力和影响因素进行了研究，分析了衍射效应、几何像差、面形误差和粗糙度等因素对分辨力的影响，以此为基础建立了kba显微镜的分辨力计算模型，并模拟了kba显微镜的分辨力与视场的关系。用kba显微镜获得了2.5kev能量的x射线成像结果，中心视场范围的分辨力约为6μm。通过实验结果与模型模拟的对比，可得建立的模型对kba显微镜分辨力与视场尺寸的关系的描述与实际测试的结果基本符合，并对不完善之处进行了分析。