0.73j脉冲能量krf准分子激光器的特性

？研制了一台krf大能量准分子激光器，激光器采用紧凑型chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电，利用lc反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40kv、脉冲上升时间约为100ns的高压快脉冲激励。研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响，在总气压3.3×105pa，f2/he,kr,ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85，充电电压27kv时，得到了738mj的单脉冲能量输出，激光近场光斑30mm×14mm，在充电电压23kv时，全电效率最高，达到2.0%。