fe/al混合膜的pld法制备及表面分析

？采用脉冲激光气相沉积（pld）技术制备了fe/al混合膜，测量了该混合膜的光电子能谱（xps），并采用原子力显微镜（afm）、扫描电子显微镜（sem）对fe/al混合膜作了表面分析。结果表明：fe/al混合膜的表面粗糙度对衬底温度有明显的依赖性，随着衬底温度的升高，薄膜的表面逐渐变得平滑，膜层变得致密，在200℃衬底温度下制得了均方根（rms）粗糙度为0.154nm、具有原子尺度光滑性的fe/al混合膜，膜中fe和al分布比较均匀，其成分比约为1∶3，同时xps分析也表明fe/al混合膜暴露在空气中后表面形成了al2o3和feo氧化层。