nm量级薄膜厚度测量

？为了获得nm量级薄膜样品的精确厚度，采用软x射线反射率拟合方法、bragg衍射方程方法和反射率fourier变换方法分析了常规cu靶x射线衍射数据及软x射线反射率数据。对厚度测量结果进行比较，3种方法得到的结果一致性很好。其中，软x射线反射率拟合和bragg衍射方程方法精度很高，优于1nm，fourier变换方法精度稍低。对于单层w薄膜样品，3种方法获得厚度分别为(15.21±0.60)nm，(14.0±1.0)nm和(13.8±1.5)nm;对于双层w/c薄膜样品，w层厚度分别为(12.64±0.60)nm，(13.0±1.0)nm和(13.9±1.5)nm。这3种方法测量结果精度主要取决于反射率数据测量精度，而fourier变换方法精度随着能量升高而提高,随着掠入射角范围增大而提高。