高损伤阈值矩形石英闪耀光栅的设计分析

？采用模态法分析了矩形亚波长石英闪耀光栅的设计原理，给出了1.06μm工作波长的矩形亚波长石英闪耀光栅的设计示例。研究表明，要设计性能优良的-1级透射闪耀光栅，应使0/1阶传输模的累积相位差为π的奇数倍。设计的透射闪耀光栅能够使tm偏振光和te偏振光获得近100%的-1级衍射效率，且具有较大的加工容差，较宽的入射波长和入射角变化适应范围。