用1064nm激光增强hfo2/sio2薄膜的抗激光损伤能力的实验研究

？用1064nm激光实验研究了hfo2/sio2薄膜的激光损伤增强效应，实验以薄膜激光损伤阈值70%的激光能量开始，采用n-on-1方式处理薄膜，激光脉冲的能量增量为5j/cm2。实验结果表明，激光处理薄膜表面能使激光损伤阈值平均提高到3倍左右，并且薄膜的损伤尺度也明显减小。对有缺陷的薄膜，其缺陷经低能量激光后熔和消除，其抗激光损伤能力得到增强，但增强得并不显著，而薄膜本身的激光预处理，可以使其激光损伤阈值大大提高。