螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

？利用螺旋波等离子体化学气相沉积(hwp-cvd)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱，对等离子体进行了原位诊断，由氢balmer系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响，通过对fulcher带的分析，得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明：低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断；激发态氢原子密度随入射功率增加而增加，随压强增加而减少，氢分子振动温度随压强增加先增大后减小；电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。