退火对zro2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响

？利用电子束蒸发方法在yb∶yag晶体和熔融石英衬底上沉积单层zro2薄膜，分别在673k和1073k的温度下经过12h退火以后，通过x射线衍射（xrd）分析了薄膜晶相，计算了薄膜的晶粒尺寸;利用表面热透镜技术获得了薄膜的吸收；测量了退火后薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明：两种衬底上的薄膜结构受到退火温度和衬底表面结构的影响，高温退火有利于单斜相的形成，含单斜相的zro2薄膜具有较高的激光损伤阈值，而由于衬底的吸收，yb∶yag晶体上薄膜的损伤阈值远小于石英衬底上薄膜的损伤阈值。