退火参数对熔石英透射波前和损伤阈值的影响

？采用高温退火技术去除熔石英元件表面由于co2激光修复带来的残余应力，研究了退火环境对元件的表面污染，分析了不同退火温度（600～900℃）和保温时间（3～10h）对于元件残余应力、透射波前、表面粗糙度和激光损伤阈值的影响。结果表明:在800℃以下,高温退火10h可有效去除co2激光修复带来的残余应力，对元件的透射波前和表面粗糙度无明显影响;石英保护盒能有效减少退火环境对元件表面产生的污染，但仍有x射线光电子能谱检测不到的表面污染物存在;在退火后采用质量分数为1%的hf刻蚀15min，激光损伤阈值可恢复，同时元件透射波前和表面粗糙度并无明显的增加。