基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术

？为解决强激光系统中大口径光学元件抛光面形精度收敛困难的问题,提出了一种基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术。利用独特的抛光垫修整技术，将抛光垫表面修整成特定形状，使工件与抛光垫的接触面产生不均匀的压力分布，并结合精确的抛光转速控制，以加快工件面形精度的收敛速度。实验结果表明，将抛光垫修整成微凸面形,可以有效避免抛光中元件过早塌边问题，能将大口径平面元件的初抛时间从数天缩短到6h以内，元件面形精度提高到1个波长左右。