等离子体诊断用schwarzschild显微镜的光学设计

？基于三级像差理论设计了用于激光等离子体诊断的极紫外schwarzschild显微镜光学系统。显微镜的工作波长为18.2nm，数值孔径为0.1，放大倍数为10。光学设计得到中心视场空间分辨力达0.3μm，±1mm视场内分辨力约0.4μm的结果。分析了schwarzschild成像系统的物镜装配、系统装调及光学元件加工误差对像质的影响，结果显示光学元件局部面形误差是影响系统成像分辨力的主要因素。通过提高系统装调的精度，可以有效补偿像距误差、两镜间距误差及曲率半径误差对像质的影响。综合考虑实际加工和装调能力，制定了系统整体公差方案，考虑公差后光学系统能够在±1mm视场内获得3μm的空间分辨力，达到了等离子体诊断的要求。