氧碘化学激光器ur-90腔光束质量研究

？概括了光束质量的表示方法,由衍射极限倍数的定义出发,提出重点在于选取光斑直径,而且可把光斑测量归结到电子测试仪对剪切电平的测量上。给出了电子测试仪的测试原理,由所测光斑直径计算了氧碘化学激光器ur290腔的光束质量指标—衍射极限倍数,达到了1.2～1.6倍衍射极限,最后进行了误差讨论。