正入射软x-射线显微成像系统聚光镜设计

？依据正入射软x射线显微成像系统对聚光镜的要求,论述了采用掠入射聚光镜是最佳选择。在分析聚光镜几何参数的基础上,决定了确定椭球面聚光镜的方法。在考虑材料反射特性和实际制作椭球面镜方法的同时,确定了要研制的高分辨率显微成像系统用聚光镜的结构参数。